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INFICONインフィコン製 質量ガス分析計(RGA)
Wexx
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Transpector MPH
蒸着装置向け質量ガス分析計です。
Transpector MPS
蒸着装置向け質量ガス分析計です。
Transpector XPR3+
スパッタ装置向け質量ガス分析計です。
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差動排気型質量ガス分析計です。
計測用ソフトウェア FabGuard Explorer
計測用ソフトウェアです。
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2026/03/05 中古機器関連ページを更新しました。
2026/01/19 第39回日本放射光学会年会 ご来場の御礼
2025/09/29 SRF2025 協賛のご報告
2024/10/01 ERL2024 workshop ご来場の御礼
2020/11/16 光学薄膜フェア 2020 ご来場の御礼