In-situ計測用のパーティクルモニタ プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。
水晶振動子 膜厚コントローラー 膜厚モニター 膜厚センサー（蒸着・PVD・ALD用） 質量ガス分析計/RGA（蒸着・PVD・CVD用）
