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Wexx 株式会社ウィックス
製品案内
真空中パーティクルモニタ(Vacuum Particle Sensor)
In-situ計測用のパーティクルモニタ
プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。
In-situ計測用のパーティクルモニタ
プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。