Wexx　株式会社ウィックス

新しく開発されたTranspector MPHは、INFICON社のガス分析計に関する専門技術を活用し、業界最先端のデータ収集速度、最小検出分圧、及びS/N比（信号対ノイズ）を誇っています。
これらは全て、ユーザーがTranspectorシリーズに求める信頼性のいずれも損なうこと無く実現されています。

RoHSに適合したTranspector MPHのセンサーと電子部品は、その全てが信号強度と測定速度を最大化できるように設計されています。一般的な半導体RGAアプリケーション（リークチェックや汚染の検出）と、他のRGAには不可能な、より厳しい条件のアプリケーション（ウェーハ間プロセス監視、ALD、CVD、Etch）の両方に対して最適化されています。卓越した速度と感度によってRGAデータの品質や統計的妥当性が高まり、異常検出やその他のプロセス制御の計測精度も向上します。

Transpector MPHはRGAイオンソースのデザインを一新しました。新しいイオンソースは、2つのフィラメントをアノード、カソード、及びリペラー電極を組み合わせたアッセンブリとしています。メイン及びバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、センサーを長期間にわたって使用することが可能になり、システムの致命的な障害を回避できます。
用途に適したフィラメント（ハロゲンを含むプロセスにはタングステン、酸素を含むプロセスにはイットリアコートイリジウム）を選択できるため、プロセスによりフィラメントの寿命が縮まるようなことはありません。

Transpector MPHのフィラメントキットの交換は、従来型のRGAのイオンソース全体を交換することに相当します。このメンテナンス箇所の削減により、トータルコストは大幅に削減されます。一般的に長期使用で汚染されるフィラメントとイオンソースを交換することにより、RGAの寿命や感度に貢献します。

新設計のセンサーは、現場で交換可能な2次電子増倍管（EM）にも付加価値をもたらします（2次電子増倍管を装備している場合）。EMは定期メンテナンスの際に現場で速やかに交換できます。新しい2次電子増倍管は、ファラデーカップ（FC）の感度を更に高め、寿命を延ばすことに貢献しています。