Transpector CPM

Transpector CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトで低価格の質量ガス分析計で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるTranspector MPHシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。

特長

CPMは小型であるだけでなく、柔軟な構成が可能です。幅広い圧力範囲とそのモニターガスに与える影響を最小限に抑えながら迅速にデータ収集ができるように、INFICONは高い汎用性を備えたHexBlockTMインレットを開発しました。
エッチングやCVDなど、一部の複合アプリケーションで使用される高腐食性ガスに対応するため、HexBlockのインレットは化学的に不活性な316ステンレス鋼のブロックから削り出し、ポンプも耐腐食性のものを採用しました。また、過酷な環境でも長寿命を確保できるように、検出器にはクローズドイオンソース(CIS)を使用しており、sub-ppmレベルで汚染物質の検出が可能です。
また、キャパシタンスダイアフラムゲージ(CDG)がプロセス圧力を正確にモニタして真空インターロックを作動させます。尚、校正のための基準ガスボンベがオプションで用意されています。

INFICONは、半導体市場向けRGAの世界的リーダーとして、生産性向上に寄与する革新的で信頼性の高いモニターシステムの開発を行う体制を整えています。さらに、ワールドワイド・ネットワークのアプリケーションおよびサポートのエキスパートにて、全てのお客様をサポートすることができます。
INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、INFICON製品ならではの高性能、汎用性、付加価値をお届けします。サイズは小型で低価格ながら堅牢な設計で、365日稼動の生産工程のモニター、また研究室における基本的な研究・開発に活用することができます。
質量範囲 1~100 / 200 / 300 amu
ピーク幅 < 1 amu
イオンソースタイプ クローズドイオンソース
全圧表示範囲 6.7E-5 ~ 1.3E-1 Pa
全圧表示精度 ±25% 1.3E-4 ~ 1.3E-1 Pa
最大イオンソース動作圧力 1.3E-1 Pa
公称イオンソース動作圧力 2.7E-2 Pa
システム動作圧力 1.3E-6 Pa ~ 1.2気圧
(オリフィス/キャピラィー時)
感度       Low Emission, FC 100amu:>3.0E-8 amps/Pa
200amu:>1.5E-8 amps/Pa
300amu:>7.5E-9 amps/Pa
感度       High Emission, FC 100amu:>1.5E-7 amps/Pa
200amu:>7.5E-8 amps/Pa
300amu:>3.8E-8 amps/Pa
最小検出分圧 100amu : 1.3E-11 Pa
200amu : 2.7E-11 Pa
300amu : 5.3E-11 Pa
最小検出 100amu : < 1 ppm
200amu : < 2 ppm
300amu : < 4 ppm
最大動作温度 150℃