FabGuard Explorer

FabGuard Explorerでは、RGA(残留ガス分析)で最もよく使用される2つの機能であるモニターモードとリークチェックモードをワンクリックで呼び出すことができます。最も一般的な監視対象ガス(水素、水蒸気、窒素、酸素、アルゴン、etc.)のデータを便利なトレンド画面にわかりやすく表示できます。

ユーザーインターフェースは簡素化されており、"Power Users"(上級ユーザー)が期待する高度なプロセス制御機能とリンクさせることが可能です。能率的なグラフィカルユーザーインターフェースにより、マルチステップレシピやバックグラウンド除去といった高度な機能を使用することが可能になります。

マルチセンサーバージョンでは、さまざまなタイプのTranspector RGAのネットワークを1台のコンピュータで制御できます。RS232ポートを使用してTCA485 Transpector通信アダプターをPCに接続することにより、簡単にシステムの完全制御を実現できます。さらに、FabGuard Explorerはすべてのセンサーを制御し、ソフトウェアのLive Dataタブを使用して最大で4つのトレンドブラフを同時に表示できるように設計されています。

特長

・下記の機能にワンクリックでアクセス可能。
1. リークチェック/データの取り込み
2. ワンクリックでレシピを作成
3. Maintenance Run Templates

・FabGuard Explorerは複数のセンサーに対応
 Transpector2 RGA、RFS100 RFセンサー及びQuantusガスアナライザー

・真空診断(Vacuum Diagnostics)機能で真空システム中の
 ガス種を迅速に特定可能

・Run Summary機能が毎回のRun毎にセンサーと
 データ収集に関する詳細な情報を添付。
 この情報は、データの異常がセンサーパラメーターを
 変更したことによるものかどうかを判断するのに役立ちます。

・高度なプロセス分析を用意にするタグ機能

・センサーを正常な動作状態に保つ自動調整機能

・Windows7に対応