標準センサーです。
スタンダードセンサーの計測面の向きが異なるタイプのセンサーです。
1本で2つの水晶振動子をセット可能なセンサーです。 シャッター付きのみの設定です。
リボルバータイプの6連センサーです。 スタンダードセンサーやデュアルセンサーでは対応できなかった厚膜や多層膜などの製膜が可能になります。
リボルバータイプ最高峰の12連センサーです。 CrystalSixでも対応できなかった難しい多層膜、厚膜などの製膜を可能にします。
高温プロセス対応のセンサーです。
スパッタリング用の膜厚センサーです。
