Wexx　株式会社ウィックス

Crystal 12は、リボルバータイプの12連センサーです。
任意の周波数になった場合や、レートの安定性が悪くなった際に回転し、新品の水晶振動子に切り換えます。（自動での切り替えは装置側の設定が必要となります。）
今までCrystalSixでは製膜できなかった厚膜や多層膜などの製膜が可能、また、インライン式蒸着装置では水晶振動子交換の為に大気開放していた回数を減らすことができる為、生産性向上にお役立て頂けると思います。

Crystal 12はメンテナンス方法も進化しています。
CrystalSixでは水晶振動子の交換の際、Crystal Holder Extaraction Toolを使用して、1つずつ外していましたが、Crystal 12は中の12枚セットできるカルーセル（円盤）ごと交換ができ、また、Toolを使用せずに水晶振動子の交換が可能になりました。

冷却水と圧空の配管長は760mmとなります。溶接加工につきましては、配管側とFeedthrough側それぞれにVCR継手を溶接加工し納入させて頂きます。