スパッタリングセンサー

スパッタリング装置用のセンサーです。
蒸着用のセンサーは材質がSUS304ですが、スパッタリングセンサーは金メッキBeCuでできております。冷却水配管長は760mmとなります。

冷却水配管長 760mm
最高ベーキング温度 105℃
シャッター付き 選択可
Feedthrough ICF70 (1"Boltタイプの選択可能)