Wexx 株式会社ウィックス
スパッタリングセンサー
![](/files/topics/151_ext_03_0_S.jpg)
スパッタリング装置用のセンサーです。
蒸着用のセンサーは材質がSUS304ですが、スパッタリングセンサーは金メッキBeCuでできております。冷却水配管長は760mmとなります。
蒸着用のセンサーは材質がSUS304ですが、スパッタリングセンサーは金メッキBeCuでできております。冷却水配管長は760mmとなります。
冷却水配管長 | 760mm |
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最高ベーキング温度 | 105℃ |
シャッター付き | 選択可 |
Feedthrough | ICF70 (1"Boltタイプの選択可能) |