CrystalSix

CrystalSixは、リボルバータイプの6連センサーです。
任意の周波数になった場合や、レートの安定性が悪くなった際に回転し、新品の水晶振動子に切り換えます。(自動での切り替えは装置側の設定が必要となります。)
今までスタンダードセンサーやデュアルセンサーでは製膜できなかった厚膜や多層膜などの製膜が可能になります。

冷却水と圧空の配管長は760mmとなります。溶接加工につきましては、配管側とFeedthrough側それぞれにVCR継手を溶接加工し納入させて頂きます。
冷却水・圧空配管長 760mm
最高ベーキング温度 130℃
Feedthrough ICF70
(1"Boltタイプ選択可)