Wexx　株式会社ウィックス

デュアルセンサーは2つの水晶振動子をセットできます。
1枚目が製膜の途中でクリスタルフェイルになった場合でも、2枚目に切替、継続してモニタリングできます。クリスタルフェイルにより1バッチ全てが・・・とならない為の保険という面では非常に有効です。

冷却水配管長・圧空配管長（センサーヘッドとFeedthroughとの距離）は最大760mmとなります。御注文時に御指定頂きますと、任意の長さに切断、溶接加工をしてお届け致します。

また、真空同軸ケーブルを2本使用するため、Q-Podではご使用頂けません。