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In-situ計測用のパーティクルモニタ プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。
水晶振動子 膜厚コントローラー 膜厚モニター 膜厚センサー(蒸着・PVD・ALD用) 質量ガス分析計/RGA(蒸着・PVD・CVD用)
蛍光材料 燐光材料
端面封止用中空封止材 ダム+フィル材
オリジン社製 高信頼性はもとより、アーク発生時の高速制御応答、安定した出力特性(500W~300kW)を有しています。又、徹底した熱設計により小型化を実現しました。
各種 中古真空装置・中古真空機器を取り扱っております。また、メンテナンス、オーバーホールの対応も行っております。 お気軽にお問合せ下さい。
サンドブラスト品 サンドブラスト+フッ酸品 溶解プレス加工品
Open Mask (CMM) Fine Mask (FMM)
ガス配管工事やMFCボックス、シリンダーキャビネットなどの製作を承っております。