真空中パーティクルモニター Vacuum Particle Sensor

In-situ計測用のパーティクルモニターです。

プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、
雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測できます。
パーティクル発生状況の監視や生産管理システムに活用できます。

詳細につきましては、お問い合わせ下さい。

This is a Vacuum Particle Sensor for In-situ measurements.

 

It is inserted into the process chamber or placed in the chamber,

You can measure particles in vacuum in real time.

It can be used for monitoring of particle generation status and production management system.

 

For details, please contact us.

計測原理 Measurement method レーザー光散乱方式
Laser light scattering method
粒子識別能力 Particle identification ability 250nm以上の粒子区別（5区別）
Particle distinction of ≧250nm (5 distinctions)
対応粒子速度 Corresponding particle velocity ～4m/sec
フランジ Flange ICF70
最大動作温度 Maximum operating temperature 80℃
測定ヘッド設置場所 Measurement head installation location 成膜エリア外
Outside the film deposition area