Wexx　株式会社ウィックス

真空中パーティクルモニタ（Vacuum Particle Sensor）

In-situ計測用のパーティクルモニタ

プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。

INFICONインフィコン製品

水晶振動子

膜厚コントローラー

膜厚モニター

膜厚センサー（蒸着・PVD・ALD用）

質量ガス分析計/RGA（蒸着・PVD・CVD用）

有機EL材料（e-Ray社）

蛍光材料

燐光材料

有機ELデバイス用封止材（MORESCO社）

端面封止用中空封止材

ダム＋フィル材

スパッタ用DC電源

オリジン社製

高信頼性はもとより、アーク発生時の高速制御応答、安定した出力特性(500W~300kW)を有しています。又、徹底した熱設計により小型化を実現しました。

RF電源・マッチャー・DC電源　修理・改善

中古真空装置・中古真空機器、メンテナンス・オーバーホール

各種　中古真空装置・中古真空機器を取り扱っております。また、メンテナンス、オーバーホールの対応も行っております。

お気軽にお問合せ下さい。

Oled Cavity glass（ザグリガラス）

サンドブラスト品

サンドブラスト+フッ酸品

溶解プレス加工品

OLED Metal Mask

Open Mask (CMM)

Fine Mask (FMM)

湘南テクノ製品

ガス配管工事やMFCボックス、シリンダーキャビネットなどの製作を承っております。