オリジン社製品

DC電源

DC電源

卓越した技術力とカスタムメイドの生産体制で、様々な領域で活躍する電源機器の高効率化や小型化を実現しています。



スパッタ用DC電源については、高信頼性はもとより、アーク発生時の高速制御応答、安定した出力特性(500W~300kW)を有しています。又、徹底した熱設計により小型化を実現しました。


DC電源用ARC Cutユニット　GEXUS-ARC

DC電源用ARC Cutユニット　GEXUS-ARC

超高速のアーク検出により、異常放電時のアークエネルギーを最小限にすることが可能です。


DCパルス電源　GEXUS-P30

DCパルス電源　GEXUS-P30

20kHz連続パルサー



定期的にパルスすることにより、毎回チャンバー内をリセットし、チャンバー内を安定した状態に保ちアークの発生を抑えます。1ユニットで30kW注力まで可能です。