INFICONインフィコン製品

INFICONインフィコン製　水晶振動子

INFICONインフィコン製　水晶振動子

水晶振動子のラインナップを豊富に取り揃えています。

お客様のプロセスや蒸着材料に適合したものをご提案させて頂きます。


INFICONインフィコン製　膜厚コントローラー

INFICONインフィコン製　膜厚コントローラー

インフィコンの膜厚コントローラーは4機種。

特許を取得したModeLock機能をはじめ、Auto Z機能など、高精度の膜厚測定や膜厚コントロールが可能。


INFICONインフィコン製　膜厚センサー

INFICONインフィコン製　膜厚センサー

膜厚センサーは7種類。

お客様の御用途に合わせ、お選び頂けます。


INFICONインフィコン製　質量ガス分析計

INFICONインフィコン製　質量ガス分析計

真空チャンバー内の環境管理に必須の質量ガス分析計

蒸着用（MPH/MPS）

スパッタ用（XPR3+）

CVD用（CPM）


INFICONインフィコン製　ALDセンサー

INFICONインフィコン製　ALDセンサー

水冷不要　最大450℃まで使用可能な膜厚センサー


INFICONインフィコン製　膜厚モニター

INFICONインフィコン製　膜厚モニター

インフィコンの膜厚モニターは2種類。

装置側へのフィードバックがいらないという際、コントローラーよりも安価にお求め頂けます。


INFICONインフィコン製　HAPSITE

INFICONインフィコン製　HAPSITE

残留溶媒等の雰囲気測定に強力な手段。

唯一のポータブル型　ガスクロマトグラフ質量分析計(GC/MS)。