Wexx　株式会社ウィックス

インフィコンALDセンサーは、水冷が不要な新しいコンセプトの膜厚センサーです。最大450℃までの温度に耐え、高温用水晶振動子と組み合わせて使用することで、高温の用途において最高の計測精度と周波数ノイズの低減を実現できます。

ガスパージラインは水晶振動子の裏面に膜が堆積されない状態を保ちます。

フィードスルーとの接続は、

①予めセンサー長を指定していただく溶接式

②センサー長が調節可能なO-リング圧縮継手を利用した調節式＊1

の２タイプを用意しております。すべての構成において、ICF70フランジフィードスルーを使用します。

＊1：調節式では、フィードスルー部は最大温度が130℃となります。