Cygnus2

OLEDアプリケーション用膜厚コントローラー

Cygnus2薄膜蒸着コントローラーは、インフィコン社の薄膜コントローラーの確かな性能と、蒸着プロセスで最大の成果を得られるように設計されたユニークな機能との組み合わせを通じて、比類のない価値を提供します。1/10秒ごとに0.00433 Å/sという業界最先端のレート分解能を誇るインフィコン社のModeLock周波数測定システムを使用したCygnus2は、安定した高分解能での膜厚とレートの測定を可能にします。Cygnus2と同じ性能、品質、機能を兼ね備え、優れた再現性を実現できる水晶振動子コントローラーは、他には存在しません。

Auto Z 機能は、有機材料のZレシオを自動的に決定できるため、層状物質やドープ物質の蒸着時に膜厚とレートの精度を維持できます。Auto Z機能を使用すると、2つ以上の材料を同時蒸着する場合や、2つ以上の材料を多層膜蒸着する場合に、Zレシオが未知のプロセスの精度を高めることが可能になります。

特長

・インフィコンのModeLockテクノロジーにより、超低レートでも
　非常に安定した最大分解能でレートと膜厚を測定可能

・材料の蒸着時にAuto Z 機能で Z レシオを自動的に決定できるため、
　膜厚の精度が向上

・1台のCygnus2で最大6つのソースを個別に、または任意の組み合わせで
　同時に制御できるため、コントローラーを2台も3台も使用する必要がない

・カラーTFT液晶ディスプレイでプロセスの進行状況をわかりやすく表示

・測定周波数　10Hz

・精度は 100msのサンプリングあたり±0.0035Hz

・USB方式のデータストレージ機能により、スクリーンショットや
　レシピの保存、データの記録が可能
 
・複数のソースからの材料の膜厚を積算

・測定レート平均処理機能により、低密度材料の超低レート蒸着が可能
　（超低レートのOLED Dopant物質の蒸着のための
　　安定したソースへの使用は最大で30秒）

・表示分解能は最高0.001Å/s

・4メートルのXIUオプションにより、大規模システム用の長
　い真空内センサーケーブルの使用が可能

・ノンデポジットレートコントロール機能により、サブストレートが
　蒸着チャンバー内をサイクル移動する間、ソース材料の
　蒸発レートを連続的にコントロール

・ソース制御および、レートや膜厚のモニタリング用の
　標準装備の6つのDAC出力にオプションでさらに6つので出力を追加可能

・イーサネット通信（オプション）

・RoHS指令に適合
分解能 0.00433Å/s/M
振動子周波数の最大シフト 1.5MHz
振動子の範囲・精度 6.0～4.5MHz ±0.0035Hz
膜厚精度 0.5％
測定周波数 10Hz
反復測定平均化 0.1、0.4、1.0、4.0、10.0、20.0、30.0秒の平均処理が可能
複数センサーでの測定 最大6センサー
Auto Z 有
ModeLock 有
同時蒸着 可能　/　最大6ソース
インターフェイス 【標準】　　　　RS232C
【オプション】　イーサネット