中古真空装置　３

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ドライエッチング装置　<br /> アルバック　CE-300R
ドライエッチング装置　
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エッチング装置　<br /> STS　MULTIPLEX ICP
エッチング装置　
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エッチング装置　<br /> アルバック　NE-550
エッチング装置　
アルバック　NE-550
エッチング装置　<br /> アルバック　NE-701
エッチング装置　
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エッチング装置　<br /> サムコ　RIE-400iPB
エッチング装置　
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ICPエッチング装置　　<br /> 住友精密工業　MUC-21
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エッチング装置　<br /> アルバック　CE-L　<br /> 6インチ　RIEプラズマ方式
エッチング装置　
アルバック　CE-L　
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エッチング装置　<br /> アネルバ　L-201D-L
エッチング装置　
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ドライエッチング装置(ICP)　<br /> アルバック　NE-730
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エッチング装置　<br /> 昭和真空　SPE-2010
エッチング装置　
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エッチング装置　<br /> 東京応化工業　TCE-3822
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エッチング装置（高密度）　<br /> アネルバ　L-101D-DFR
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エッチング装置　<br /> アルバック　NLD-800
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