Wexx 株式会社ウィックス
STM-2
超小型の膜厚レートモニターです。本体は片側がBNCコネクタ、もう一方がUSB(Bタイプ)になっており、直接PCに接続します。
付属のソフトをPCにインストールし、膜厚センサーとの間をBNCケーブル、PCとをUSBケーブルで接続すればモニタリング可能。PCで直接モニタリングするため、レートや膜厚などのデータを管理するにも非常に便利です。また、USBハブなどを使用すれば、1台のPCで8台までのSTM-2をサポートします。
付属のソフトをPCにインストールし、膜厚センサーとの間をBNCケーブル、PCとをUSBケーブルで接続すればモニタリング可能。PCで直接モニタリングするため、レートや膜厚などのデータを管理するにも非常に便利です。また、USBハブなどを使用すれば、1台のPCで8台までのSTM-2をサポートします。
特徴
・インフィコン社製膜厚計の中で最も安価なモニターです。
・PCのUSBポートへ直接接続し、最大8台までのQ-Podをサポートします。
・操作、データ記録用Windowsベースのソフトウェア付属。
・重量は57g、小型軽量設計。
・PCのUSBポートへ直接接続し、最大8台までのQ-Podをサポートします。
・操作、データ記録用Windowsベースのソフトウェア付属。
・重量は57g、小型軽量設計。
分解能 | 0.037Å/s/M |
---|---|
振動子周波数の最大シフト | 1.0MHz |
振動子の範囲・精度 | 6.0~5.0MHz ±0.03Hz |
測定周波数 | 10Hz |
周波数安定性 | ±2ppm |
反復測定平均化 | 5秒 |
センサー接続数 | 1センサー(シングルセンサーのみ) |