STM-2

超小型の膜厚レートモニターです。本体は片側がBNCコネクタ、もう一方がUSB(Bタイプ)になっており、直接PCに接続します。

付属のソフトをPCにインストールし、膜厚センサーとの間をBNCケーブル、PCとをUSBケーブルで接続すればモニタリング可能。PCで直接モニタリングするため、レートや膜厚などのデータを管理するにも非常に便利です。また、USBハブなどを使用すれば、1台のPCで8台までのSTM-2をサポートします。

特徴

・インフィコン社製膜厚計の中で最も安価なモニターです。
 
・PCのUSBポートへ直接接続し、最大8台までのQ-Podをサポートします。

・操作、データ記録用Windowsベースのソフトウェア付属。

・重量は57g、小型軽量設計。
分解能 0.037Å/s/M
振動子周波数の最大シフト 1.0MHz
振動子の範囲・精度 6.0~5.0MHz ±0.03Hz
測定周波数 10Hz
周波数安定性 ±2ppm
反復測定平均化 5秒
センサー接続数 1センサー(シングルセンサーのみ)