SQM160

SQM160は薄膜蒸着プロセスで、蒸着レートと膜厚宇を計測するため、インフィコンの膜厚センサーで証明されたテクノロジーを活用します。標準で2つのセンサーを接続でき、オプションの4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーを接続可能です。

複数のセンサー入力は、1つの材料に対して1つのセンサーを割り当てたり、大きな蒸着システムでは、1つの材料を複数のセンサーでその平均値を計測する、または、デュアルセンサーを割り当てることができます。レートサンプリングモードは、シャッター付きセンサーを高レートプロセスでの寿命を延ばします。レート表示は0.1Å/sまたは0.01Å/sを選択できます。その他に周波数や質量表示も選択可能です。4つのリレー出力はSQM160がソースまたはセンサーシャッターを制御するのに使用され、時間と膜厚のセットポイント信号の出力、クリスタルフェイルの信号として使用できます。デジタル入力は、スタート/ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号の制御を可能にします。
 

特長

・標準2チャンネルセンサー入力
 オプション追加4センサー入力

・レート/膜厚のアナログ信号出力

・オプションで0.03Hz、10readings/secの高精度タイプ

・RS232を標準装備し、オプションでUSB、もしくはイーサネットを選択可能
分解能(標準/高精度) 0.148 / 0.037Å/s/M
振動子周波数の最大シフト 3.0MHz
振動子の範囲・精度 6.0~3.0MHz  ±0.12Hz / ±0.03Hz
測定周波数(標準/高精度) 4Hz / 10Hz
(0.5~10Hzで変更可能)
反復測定平均化 1秒~20秒
センサー接続数 最大6センサー
Auto Z
ModeLock
インターフェイス 【標準】    RS232C
【オプション】 USB、もしくはイーサネット