Wexx　株式会社ウィックス

SQM160は薄膜蒸着プロセスで、蒸着レートと膜厚宇を計測するため、インフィコンの膜厚センサーで証明されたテクノロジーを活用します。標準で2つのセンサーを接続でき、オプションの4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーを接続可能です。

複数のセンサー入力は、1つの材料に対して1つのセンサーを割り当てたり、大きな蒸着システムでは、1つの材料を複数のセンサーでその平均値を計測する、または、デュアルセンサーを割り当てることができます。レートサンプリングモードは、シャッター付きセンサーを高レートプロセスでの寿命を延ばします。レート表示は0.1Å/sまたは0.01Å/sを選択できます。その他に周波数や質量表示も選択可能です。4つのリレー出力はSQM160がソースまたはセンサーシャッターを制御するのに使用され、時間と膜厚のセットポイント信号の出力、クリスタルフェイルの信号として使用できます。デジタル入力は、スタート/ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号の制御を可能にします。