SQC310

連続蒸着用、同時蒸着用の2種類からお客様のアプリケーションに最適なものをお選び頂けます。

連続蒸着用のSQC310は、2点のセンサー入力、2点のソース出力、8点のデジタル入力/出力を備え、オプションとして提供される拡張カードを使用すれば、これらの入出力点数を2倍に増やすことができます。

同時蒸着用のSQC310Cは、4個までの膜厚センサーを接続可能で、4点のPIDコントロール出力、16点のデジタル入力と16点のリレー出力を備え、SQC310と同様の仕様を満たしております。

特長

・明るい1/4"VGAアクティブマトリックス カラーLCDディスプレイ

・RS232とUSBを標準装備

・『Quick Setup』メニューと6種類の文脈依存式押しボタン、
　便利なパラメーター設定ノブを使用し、簡単なセットアップと操作が可能

・プロセスの開発・試験・ダウンロードの他、装置データをPCに記録して、
　プロセスの解析や品質管理を行うWindowsプログラム

・特に低い蒸着速度で威力を発揮する成果kなプロセスコントロール
　（毎秒10回の読み取りで±0.03Hzの分解能、
　　　0～50℃の範囲で周波数安定性±2ppm）

・100プロセス、1,000レイヤ、50フィルムまで記録できるストレージ容量

・ソース材料を1つまたは複数のセンサーで監視することにより、
　正確なソース分布モニタリングを行います。
 
分解能 0.037Å/s/M
振動子周波数の最大シフト 2.0MHz
振動子の範囲・精度 6.0～4.0MHz ±0.03Hz
測定周波数 10Hz
（1～10Hzで変更可能）
反復測定平均化 無
センサー接続数 最大4センサー
Auto Z 無
ModeLock 無
同時蒸着 可能（SQC310Cのみ）/　最大4ソース
インターフェイス 【標準】　　　　RS232CとUSB
【オプション】　イーサネット