XTC/3

シングル、マルチレイヤープロセス薄膜蒸着コントローラーに必要なすべての機能を1台の装置で実現しました。XTC/3は特許を取得したModeLock技術を使用し、モードホッピングを防ぎ、高い蒸着精度を実現します。

XTC/3は実質的にレイヤー数の制限のない多層薄膜の蒸着速度と膜厚の精密コントロールが可能となり、しかも設置が簡単で極めて高い信頼性を持つこの装置は生産性向上に大きく寄与します。コントロールの目的が生産であれ研究開発であれ、お客様の用途に正確に適合できる製品です。

特長

・シングルレイヤ対応モデルとマルチレイヤ対応モデルよりお選び下さい。

・特許を取得したModeLock技術がモードホッピングに起因する
　膜厚誤差を防止します。

・Crystal 12、CrystalSix、およびデュアルセンサーにも対応し、最高の
　生産性を実現します。

・マルチレイヤモデルであるXTC/3Mは99までのプロセス、
　999までのレイヤ数、32枚までのフィルム、さらに2個のセンサーと
　2種類までの蒸着源をサポートします。

・シングルレイヤモデルであるXTC/3Sは9枚までのフィルムと
　2個のセンサー、2種類の蒸着源をサポートします。

・見やすいTFT LCD グラフィックディスプレイ

・フィルムとプロセスごとに他と混同せずに内容がすぐ分かる名前を付け、
　その名前で簡単に呼び出すことができます。

・イーサネット接続可能（オプション）

・スタンドアロン動作（コンピューター不要）とPCコントロールの両方に対応
　（オプションとしてWindowsソフトウェアを提供）

・XTC/2コントローラーにプラグ＆プレイ方式で置き換え可能
　（XTC/2の機能とコマンドセットに限定されます）

・RoHS指令に適合
分解能 0.034Å/s/M
振動子周波数の最大シフト 1.0MHz
振動子の範囲・精度 6.0～5.0MHz ±0.028Hz
膜厚精度 0.5％
測定周波数 4Hz
反復測定平均化 0.4秒の平均処理が可能
センサー接続数 最大2センサー
デュアルセンサーの場合はCrystalスイッチが必要
Auto Z 無
ModeLock 有
同時蒸着 不可
インターフェイス 【標準】　　　　RS232C
【オプション】　イーサネット