Wexx　株式会社ウィックス

光学アプリケーション用膜厚コントローラー

IC6薄膜蒸着コントローラーは、インフィコン社の薄膜コントローラーの確かな性能と、蒸着プロセスで最大の成果を得られるように設計されたユニークな機能との組み合わせを通じて、比類のない価値を提供します。1/10秒ごとに0.00433 Å/sという業界最先端のレート分解能を誇るインフィコン社のModeLock周波数測定システムを使用したIC6は、安定した高分解能での膜厚とレートの測定を可能にします。高い分解能と信頼性を兼ね備え、レイヤ数200の50プロセスに対応できるIC6の能力は、反射コーティング、バンドパスフィルタ、ARコーティングといった光学プロセスに活用できます。IC6と同じ性能、品質、機能を兼ね備え、優れた再現性を実現できる水晶振動子コントローラーは、他には存在しません。

また、IC6はCygnus2と同様にOLEDアプリケーションにも対応します。
Auto Z 機能は、有機材料のZレシオを自動的に決定できるため、層状物質やドープ物質の蒸着時に膜厚とレートの精度を維持できます。Auto Z機能を使用すると、2つ以上の材料を同時蒸着する場合や、2つ以上の材料を多層膜蒸着する場合に、Zレシオが未知のプロセスの精度を高めることが可能になります。