GEXUS-15

15kW DC電源

主に300mmウェハーサイズ用に開発した電源です。
オプションのアークカットユニット付属により、異常放電時のターゲットへのダメージを軽減し、歩留まり向上が可能です。

※記載内容は予告なく変更、あるいは製造を中止する場合がございますので、御注文に際しては最新の情報をご確認下さい。
入力AC電圧 180～220V
DC出力 15kW（Max -800V37.5A）