製品案内

真空中パーティクルモニタ

真空中パーティクルモニタ

In-situ計測用のパーティクルモニタ

プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。


MORESCO

MORESCO

端面封止向け中空シール材、ダム・フィル材



e-Ray

e-Ray

e-Ray社製有機EL材料



インフィコン 残留ガス分析器(RGA)

インフィコン 残留ガス分析器(RGA)

質量ガス分析器/残留ガス分析器


インフィコン 水晶振動子

インフィコン 水晶振動子

弊社はインフィコン社の販売代理店と致しまして、光学・有機EL業界を始め、各種のお客様にご対応をさせて頂いております。

大量購入のお客様へはボリュームディスカウントもご対応させて頂いております。また、お客様のプロセスや蒸着材料に適合したものをご提案させて頂きます。



インフィコン 膜厚コントローラー その他分析装置

インフィコン 膜厚コントローラー その他分析装置

膜厚コントローラー・膜厚モニター、真空計、リークディテクタ



オリジン電気

オリジン電気

スパッタ用DC電源については、高信頼性はもとより、アーク発生時の高速制御応答、安定した出力特性(500W~300kW)を有しています。又、徹底した熱設計により小型化を実現しました。



湘南テクノ

湘南テクノ

ガス配管工事やMFCボックス、シリンダーキャビネットなどの製作を承っております。