製品案内

真空中パーティクルモニタ

真空中パーティクルモニタ

In-situ計測用のパーティクルモニタ

プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。


MORESCO

MORESCO

端面封止向け中空シール材、ダム・フィル材


e-Ray

e-Ray

e-Ray社製有機EL材料


インフィコン

インフィコン

膜厚コントローラー・膜厚モニター・膜厚センサー・水晶振動子・質量ガス分析計


オリジン電気

オリジン電気

スパッタ用DC電源については、高信頼性はもとより、アーク発生時の高速制御応答、安定した出力特性(500W~300kW)を有しています。又、徹底した熱設計により小型化を実現しました。


湘南テクノ

湘南テクノ

ガス配管工事やMFCボックス、シリンダーキャビネットなどの製作を承っております。