製品案内

真空中パーティクルモニタ(Vacuum Particle Sensor)

真空中パーティクルモニタ(Vacuum Particle Sensor)

In-situ計測用のパーティクルモニタ

プロセスチャンバーに挿入、もしくはチャンバー内に設置し、雰囲気中のパーティクルをリアルタイムで計測します。


INFICONインフィコン製品

INFICONインフィコン製品

水晶振動子

膜厚コントローラー

膜厚モニター

膜厚センサー(蒸着・PVD・ALD用)

質量ガス分析計/RGA(蒸着・PVD・CVD用)


有機EL材料(e-Ray社)

有機EL材料(e-Ray社)

蛍光材料

燐光材料


有機ELデバイス用封止材(MORESCO社)

有機ELデバイス用封止材(MORESCO社)

端面封止用中空封止材

ダム+フィル材


スパッタ用DC電源

スパッタ用DC電源

オリジン社製

高信頼性はもとより、アーク発生時の高速制御応答、安定した出力特性(500W~300kW)を有しています。又、徹底した熱設計により小型化を実現しました。


RF電源・マッチャー・DC電源 修理・改善

RF電源・マッチャー・DC電源 修理・改善


膜厚コントローラー 中古XTC/2

膜厚コントローラー 中古XTC/2


中古真空装置・中古真空機器、メンテナンス・オーバーホール

中古真空装置・中古真空機器、メンテナンス・オーバーホール

各種 中古真空装置・中古真空機器を取り扱っております。また、メンテナンス、オーバーホールの対応も行っております。

お気軽にお問合せ下さい。


Oled Cavity glass(ザグリガラス)

Oled Cavity glass(ザグリガラス)

サンドブラスト品

サンドブラスト+フッ酸品

溶解プレス加工品


OLED Metal Mask

OLED Metal Mask

Open Mask (CMM)

Fine Mask (FMM)


湘南テクノ製品

湘南テクノ製品

ガス配管工事やMFCボックス、シリンダーキャビネットなどの製作を承っております。